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    压力传感器的发展史

    日期:2020-07-15 13:24
    在各类传感器中压力传感器具有体积小波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、便于集成化的优点波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】,可广泛用于压力、高度波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、加速度、液体的流量、流速波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、液位波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、压强的测量与控制。除此以外,还广泛应用于水利波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、地质、气象波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、化工波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、医疗卫生等方面。由于该技术是平面工艺与立体加工相结合波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】,又便于集成化波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】,所以可用来制成血压计波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、风速计、水速计波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、压力表波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、电子称以及自动报警装置等波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】。压力传感器已成为各类传感器中技术最成熟、性能最稳定波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、性价比最高的一类传感器。因此对于从事现代测量与自动控制专业的技术人员必须了解和熟识国内外压力传感器的研究现状和发展趋势。
    气动传感元件,艾而特数显气压表
    现代压力传感器以半导体传感器的发明为标志,而半导体传感器的发展可以分为四个阶段:
    1发明阶段(1945-1960年)
    这个阶段主要是以1947年双极性晶体管的发明为标志波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】。此后波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】,半导体材料的这一特性得到较广泛应用波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】。史密斯(C.S.Smith)与1945发现了硅与锗的压阻效应,即当有外力作用于半导体材料时波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】,其电阻将明显发生变化。依据此原理制成的压力传感器是把应变电阻片粘在金属薄膜上,即将力信号转化为电信号进行测量。此阶段最小尺寸大约为1cm。
    2发展阶段(1960-1970年)
    随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的(001)或(110)晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】,称为硅杯。这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点,实现了金属-硅共晶体,为商业化发展提供了可能。
    3商业化阶段(1970-1980年)
    在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅传感器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术,主要有V形槽法波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】。由于可以在多个表面同时进行腐蚀波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】,数千个硅压力膜可以同时生产,实现了集成化的工厂加工模式波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】,成本进一步降低。
    4微机械加工阶段(1980年-)
    上世纪末出现的纳米技术波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】,使得微机械加工工艺成为可能。通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力传感器波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】,其线度可以控制在微米级范围内。利用这一技术可以加工波兰甲组联赛比赛直播-高清直播-【米fun直播】、蚀刻微米级的沟、条、膜,使得压力传感器进入了微米阶段。


    所属类别: 原理

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